摘要：鎢鉬及其合金因具有良好的導(dǎo)熱、導(dǎo)電、高溫強(qiáng)度和耐磨等特性，成為電子電力、金屬材料等航天工業(yè)應(yīng)用的重要材料，鎢鉬靶材是產(chǎn)生X射線的重要組成部件，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)和材料等領(lǐng)域，其質(zhì)量對(duì)使用性能至關(guān)重要。靶材生產(chǎn)過(guò)程中，其工作表面常常伴隨“白斑”缺陷，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的合格率。本實(shí)驗(yàn)采用光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡和顯微硬度等分析方法對(duì)鎢鉬靶材工作表面的白斑缺陷進(jìn)行微觀成分分析。結(jié)果表明：白斑缺陷微觀視野下為凹坑現(xiàn)象，其周圍晶粒粗大。缺陷產(chǎn)生的主要原因是料層的致密度和硬度差異化不同，燒結(jié)和熱壓使晶粒增粗增大，機(jī)加過(guò)程中使晶粒脫落，表現(xiàn)為凹坑現(xiàn)象。最后，通過(guò)改進(jìn)生產(chǎn)工藝，有效的避免靶材表面的白斑缺陷，提高了產(chǎn)成品率。本文章的研究?jī)?nèi)容對(duì)生產(chǎn)企業(yè)有著非常重要的指導(dǎo)意義。
關(guān)鍵詞： 靶材 白斑 缺陷 晶粒 硬度
DOI:10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2019.02-000
中圖分類號(hào)：146.4+12 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1006-2602(2019)02-0000-00
Defect Analysis of Working Surface of X - ray Anode Target
LIU Chen-yu , Zhang Teng,XUE Fei,DAN Xin -guo ,FAN Wen-bo , ZHANG Qing,WEN Ya-hui ,DENG Yong-bin
（Xi’an Refra Tungsten & Molybdenum Co.,Ltd.Xi’an 710201,Shaanxi,China）
Abstract：Tungsten - molybdenum and its alloys have become important materials such as electronic power,metal materials and aerospace industry applications, due to their good thermal conductivity, electrical conductivity, high temperature strength and wear resistance. Tungsten - molybdenum target is an important component for X - ray generation and is widely used in medical and material fields, and its own taste is crucial to its performance. In the process of target production, its working surface is often accompanied by " white spot" defect, which seriously affects the qualified rate of the product. In this experiment, optical microscope, scanning electron microscope and microhardness were used to analyze the microscopic composition of white spot defects on the working surface of tungsten-molybdenum target. The results show that the white spot defect is a pit phenomenon in the microscopic field of view, and its surrounding grains are coarse. The main reason for the defect is that the density and hardness of the material layer are different. Sintering and hot pressing increase the grain size, and the grain falls off in the process of machining, which shows a pit phenomenon. Finally, by improving the production process, the white spot defect on the target surface can be effectively avoided and the yield can be improved.The research content of this article has very important guiding significance for production enterprises.
Keywords：target material，white spot，defects，grain，hardness
1前言
X射線衍射主要應(yīng)用于現(xiàn)代醫(yī)學(xué)和無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域，陽(yáng)極靶（鎢鉬靶材）是組成X射線管的關(guān)鍵部件，X光管的工作機(jī)理是通過(guò)電子束轟擊靶材工作表面層，其表面層產(chǎn)生特征X射線。因此，X射線衍射裝置對(duì)陽(yáng)極靶材的要求特別高。但實(shí)際生產(chǎn)中，靶材工作表面經(jīng)常出現(xiàn)的白斑等缺陷，其缺陷嚴(yán)重降低了靶材的發(fā)射功能和使用壽命，造成產(chǎn)品大量報(bào)廢，嚴(yán)重影響靶材生產(chǎn)成本和成品率。目前，靶材白斑缺陷的研究報(bào)道相對(duì)較少，白斑缺陷長(zhǎng)期得不到解決。段小建等[1]發(fā)現(xiàn)并研究了靶材在高溫除氣后表面出現(xiàn)的白斑現(xiàn)象，鎢基鉬靶材的工作環(huán)境為1500℃左右，鎢基靶材裝管前要進(jìn)行高溫真空除氣處理，段小建并未對(duì)靶材高溫除氣之前的凹坑白斑進(jìn)行研究。很多研究工作者探究了壓制、粒度與鎢鉬靶材之間的關(guān)系，并未從根本上消除白斑缺陷對(duì)實(shí)際生產(chǎn)的困擾[2-8]。因此，探究并解決靶材生產(chǎn)中出現(xiàn)的缺陷問(wèn)題對(duì)提高產(chǎn)品的合格率具有至關(guān)重要的意義。本課題鎢鉬靶材是以TZM為基體，工作表面是鎢錸合金，對(duì)靶材表面進(jìn)行微觀分析。通過(guò)實(shí)際與理論相結(jié)合，確定靶材表面產(chǎn)生白斑的原因，并查找產(chǎn)生缺陷的工序。
2實(shí)驗(yàn)
本課題探究的靶材為TZM基鎢錸結(jié)構(gòu)，其工作表面為鎢錸合金，基層為TZM合金，各合金層的實(shí)際配比如表1所示。使用XJL-03立式金相顯微鏡、JSM-6700F型真空掃描電子顯微鏡（SEM）附帶能譜儀(EDS)觀察試樣工作表面白斑缺陷區(qū)域及元素分布狀態(tài)，使用Via-F顯微維氏硬度計(jì)檢測(cè)靶材工作表面白斑缺陷區(qū)域的硬度分布。
表1 TZM基鎢錸靶各層化學(xué)成分 wt%
Table 1 Chemical composition of each layer of TZM - based & Tungsten-rhenium target wt%
| 名稱 |
Ti |
Zr |
Mo |
Re |
W |
| TZM層 |
0.4~0.55 |
0.06~0.12 |
余量 |
0 |
-- |
| 鎢錸層 |
-- |
-- |
-- |
3 |
余量 |
3.1 SEM-EDX結(jié)果和成因分析
取靶材表面含有白斑缺陷的試樣，經(jīng)磨拋后進(jìn)行微觀能譜分析，如圖1所示，圖1（b）和（c）分別為白斑區(qū)域的放大圖，并對(duì)其中紅色框進(jìn)行能譜分析結(jié)果如表2。由圖1和表2可知，微觀視野下白斑缺陷表現(xiàn)為凹坑且為兩種結(jié)構(gòu)。其中圖1（b）白斑缺陷為細(xì)小的點(diǎn)狀?yuàn)A雜物聚集而成，凹坑中Mo含量較高，達(dá)到88.51wt%，分析原因?yàn)榉哿线M(jìn)行壓制的過(guò)程中鎢錸層被鉬粉污染，該白斑缺陷后續(xù)加工保證工作臺(tái)面整潔度，可以避免；圖1（c）的白斑缺陷為不含夾雜物的晶粒脫落現(xiàn)象。
圖1 靶材工作表面的白斑缺陷圖
（b）和（c）分別為（a）圖中白斑局部放大圖
Fig. 2 White Spot Defect Map of Target Working Surface
( b ) and ( c ) are respectively enlarged partial views of the white spot in fig. ( a ),
表2靶材表面白斑處能譜分析
Table 2 Energy spectrum analysis of white spots on the surface of target material
| 樣品 |
元素 |
質(zhì)量 百分比 |
原子百分比 |
| （b） |
O K |
3.05 |
16.30 |
| W M |
8.09 |
3.77 |
| P K |
0.35 |
0.97 |
| Mo L |
88.51 |
78.96 |
| （c） |
O K |
2.94 |
15.41 |
| W M |
95.32 |
84.46 |
| P K |
0.31 |
0.93 |
| Mo L |
0.43 |
0.20 |
TZM基鎢錸靶的工作表面界面處的金相照片如圖2所示，其中圖2（a）、（b）分別為無(wú)白斑區(qū)域和白斑區(qū)域的金相圖。由圖2可知，無(wú)白斑區(qū)域的晶粒均勻且較小，而白斑區(qū)域致密度明顯低于其它區(qū)域，并且晶粒較為粗大。從熱力學(xué)角度分析，在一定體積的金屬中，晶粒愈粗，則其總的晶界表面積就愈小，晶粒粗化使合金該區(qū)域處于自由能較低的穩(wěn)定狀態(tài)。白斑周圍晶粒粗大的是由于該區(qū)域致密度偏低，燒結(jié)和熱壓等工序使該區(qū)變形量小，形核數(shù)目少，新晶核靠消耗其周圍已變形晶胞長(zhǎng)大。晶粒脫落是因?yàn)榇志еg結(jié)合能較小，結(jié)合力弱，磨削等工序易使晶粒脫落。
圖2 靶材工作表面的的界面金相照片
（a） 無(wú)白斑區(qū)域， （b）白斑區(qū)域
Fig. 3 Interface metallographic photograph of target working surface
（a）Areas without white spots，（b）White spot area
將靶材工作表面含有白斑缺陷的樣品進(jìn)行顯微硬度測(cè)試，結(jié)果如表3和圖3。編號(hào)1-3為白斑缺陷周圍的硬度測(cè)試點(diǎn)，編號(hào)4-7為沿白斑缺陷向外延伸的硬度測(cè)試點(diǎn)。根據(jù)顯微硬度測(cè)試結(jié)果可知，白斑缺陷周圍的硬度值偏低，隨著測(cè)試點(diǎn)向外延伸，其硬度增加，最終硬度相對(duì)穩(wěn)定，說(shuō)明該區(qū)域致密度均勻。硬度值是由晶粒度決定的，晶粒越細(xì)，晶界面越多，晶界越曲折；晶粒與晶粒中間犬牙交錯(cuò)的機(jī)會(huì)就越多，越不利于裂紋的傳播和發(fā)展，彼此就越緊固，強(qiáng)度和韌性就越好，硬度也就越高。
表3靶材表面不同位置的硬度值
Table 3 Hardness values at different positions on the target surface
| 樣品編號(hào) |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
| 硬度值 |
279 |
288 |
290 |
317 |
337 |
339 |
340 |
圖3 靶材表面不同位置的硬度曲線圖
Fig. 4 Hardness curves of different positions on the target surface
影響其硬度的性能的主要因素有合金致密度和晶粒尺寸，它們之間的關(guān)系為：
其中： 為合金的硬度， 為晶粒尺寸， 為孔隙率； , , 為常數(shù)。可知?dú)饪茁屎途Я３叽绲脑黾佣紩?huì)降低合金材料的硬度[9-10]。
綜上所述，致密度能夠影響合金材料的硬度和耐磨性等特性，因此，提高靶材致密度和均勻性是降低靶材白斑缺陷的重要手段。
本課題通過(guò)探究TZM基鎢錸靶材工作表面的白斑缺陷，并采用金相顯微鏡、掃描電鏡和顯微硬度分析，得出以下幾點(diǎn)結(jié)論：
（1）TZM基鎢錸靶材產(chǎn)生的白斑缺陷為凹坑，表現(xiàn)為含夾雜物的凹坑和未含夾雜物的晶粒脫落現(xiàn)象。
（2）白斑缺陷處的晶粒粗大、硬度較低，無(wú)白斑處晶粒度均勻且硬度值穩(wěn)定。白斑缺陷產(chǎn)生的主要原因?yàn)樵搮^(qū)域硬度較低和晶粒粗大。
（3）經(jīng)過(guò)工藝改進(jìn)和生產(chǎn)實(shí)踐證明，提高靶材致密度和均勻性是降低靶材白斑缺陷的重要手段。其重復(fù)性和可靠性提高，有效的解決了靶材生產(chǎn)中的白斑缺陷問(wèn)題。
參考文獻(xiàn)
[1]段小建，段海清，劉海彥，等.鉬基鎢靶表面白斑問(wèn)題的解決[J].稀有金屬材料與工程.2002.10（31）:103-104.
[3]Zhihui Peng . A survey of the rotating anode target of X-ray tube abroad[J]. Rare Metals and Cemented Carbides，1987（Z1）:121-124.
[4]鐘建華，張聚國(guó) ，鐘 奇，等.用于熱作擠壓模具的粉末冶金鉬基材料及模具成形方法CN201310614027.5[P]．2014-03-12.
[5]朱 琦，張鐵軍，王 林，等.影響鎢鉬雙金屬壓制的因素分析[J].中國(guó)鉬業(yè)，2011，（35）:40-43.
[6]朱 琦 ，王 林，楊秦莉.鎢鉬復(fù)合雙金屬界面研究[J].中國(guó)鉬業(yè)，2011，8（35）:51-54
[7]溫亞輝，李長(zhǎng)亮，張 清，等.粉末粒度對(duì)鎢鉬雙金屬性能影響[J].稀有金屬材料與工程.2016，40(11):1188-1192
[8]王社全.影響超細(xì)硬質(zhì)合金性能的幾個(gè)因素[J].硬質(zhì)合金，2000，17（1）:9.
[9]陳海榮.我國(guó)醫(yī)療器械市場(chǎng)現(xiàn)狀分析[J].上海生物醫(yī)學(xué)工程，2002，23（4）:64-65.
[10]Oran R L.New research directions in powder metallurgy[J]. Romanian Reports in Physics，2004，56( 3) : 505.
姓名：劉晨雨
電話：18591269326，
郵箱：liuchenyuustb@163.com
工作單位:西安瑞福萊鎢鉬有限公司
單位地址：西安市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)涇渭工業(yè)園涇高北路中段18號(hào)西安瑞福萊鎢鉬有限公司
通訊作者：張騰 電話：029-86969925
zhangteng70707@126.com
摘要：鎢鉬及其合金因具有良好的導(dǎo)熱、導(dǎo)電、高溫強(qiáng)度和耐磨等特性，成為電子電力、金屬材料等航天工業(yè)應(yīng)用的重要材料，鎢鉬靶材是產(chǎn)生X射線的重要組成部件，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)和材料等領(lǐng)域，其質(zhì)量對(duì)使用性能至關(guān)重要。靶材生產(chǎn)過(guò)程中，其工作表面常常伴隨“白斑”缺陷，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的合格率。本實(shí)驗(yàn)采用光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡和顯微硬度等分析方法對(duì)鎢鉬靶材工作表面的白斑缺陷進(jìn)行微觀成分分析。結(jié)果表明：白斑缺陷微觀視野下為凹坑現(xiàn)象，其周圍晶粒粗大。缺陷產(chǎn)生的主要原因是料層的致密度和硬度差異化不同，燒結(jié)和熱壓使晶粒增粗增大，機(jī)加過(guò)程中使晶粒脫落，表現(xiàn)為凹坑現(xiàn)象。最后，通過(guò)改進(jìn)生產(chǎn)工藝，有效的避免靶材表面的白斑缺陷，提高了產(chǎn)成品率。本文章的研究?jī)?nèi)容對(duì)生產(chǎn)企業(yè)有著非常重要的指導(dǎo)意義。
關(guān)鍵詞： 靶材 白斑 缺陷 晶粒 硬度
DOI:10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2019.02-000
中圖分類號(hào)：146.4+12 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1006-2602(2019)02-0000-00
Defect Analysis of Working Surface of X - ray Anode Target
LIU Chen-yu , Zhang Teng,XUE Fei,DAN Xin -guo ,FAN Wen-bo , ZHANG Qing,WEN Ya-hui ,DENG Yong-bin
（Xi’an Refra Tungsten & Molybdenum Co.,Ltd.Xi’an 710201,Shaanxi,China）
Abstract：Tungsten - molybdenum and its alloys have become important materials such as electronic power,metal materials and aerospace industry applications, due to their good thermal conductivity, electrical conductivity, high temperature strength and wear resistance. Tungsten - molybdenum target is an important component for X - ray generation and is widely used in medical and material fields, and its own taste is crucial to its performance. In the process of target production, its working surface is often accompanied by " white spot" defect, which seriously affects the qualified rate of the product. In this experiment, optical microscope, scanning electron microscope and microhardness were used to analyze the microscopic composition of white spot defects on the working surface of tungsten-molybdenum target. The results show that the white spot defect is a pit phenomenon in the microscopic field of view, and its surrounding grains are coarse. The main reason for the defect is that the density and hardness of the material layer are different. Sintering and hot pressing increase the grain size, and the grain falls off in the process of machining, which shows a pit phenomenon. Finally, by improving the production process, the white spot defect on the target surface can be effectively avoided and the yield can be improved.The research content of this article has very important guiding significance for production enterprises.
Keywords：target material，white spot，defects，grain，hardness
1前言
X射線衍射主要應(yīng)用于現(xiàn)代醫(yī)學(xué)和無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域，陽(yáng)極靶（鎢鉬靶材）是組成X射線管的關(guān)鍵部件，X光管的工作機(jī)理是通過(guò)電子束轟擊靶材工作表面層，其表面層產(chǎn)生特征X射線。因此，X射線衍射裝置對(duì)陽(yáng)極靶材的要求特別高。但實(shí)際生產(chǎn)中，靶材工作表面經(jīng)常出現(xiàn)的白斑等缺陷，其缺陷嚴(yán)重降低了靶材的發(fā)射功能和使用壽命，造成產(chǎn)品大量報(bào)廢，嚴(yán)重影響靶材生產(chǎn)成本和成品率。目前，靶材白斑缺陷的研究報(bào)道相對(duì)較少，白斑缺陷長(zhǎng)期得不到解決。段小建等[1]發(fā)現(xiàn)并研究了靶材在高溫除氣后表面出現(xiàn)的白斑現(xiàn)象，鎢基鉬靶材的工作環(huán)境為1500℃左右，鎢基靶材裝管前要進(jìn)行高溫真空除氣處理，段小建并未對(duì)靶材高溫除氣之前的凹坑白斑進(jìn)行研究。很多研究工作者探究了壓制、粒度與鎢鉬靶材之間的關(guān)系，并未從根本上消除白斑缺陷對(duì)實(shí)際生產(chǎn)的困擾[2-8]。因此，探究并解決靶材生產(chǎn)中出現(xiàn)的缺陷問(wèn)題對(duì)提高產(chǎn)品的合格率具有至關(guān)重要的意義。本課題鎢鉬靶材是以TZM為基體，工作表面是鎢錸合金，對(duì)靶材表面進(jìn)行微觀分析。通過(guò)實(shí)際與理論相結(jié)合，確定靶材表面產(chǎn)生白斑的原因，并查找產(chǎn)生缺陷的工序。
2實(shí)驗(yàn)
本課題探究的靶材為TZM基鎢錸結(jié)構(gòu)，其工作表面為鎢錸合金，基層為TZM合金，各合金層的實(shí)際配比如表1所示。使用XJL-03立式金相顯微鏡、JSM-6700F型真空掃描電子顯微鏡（SEM）附帶能譜儀(EDS)觀察試樣工作表面白斑缺陷區(qū)域及元素分布狀態(tài)，使用Via-F顯微維氏硬度計(jì)檢測(cè)靶材工作表面白斑缺陷區(qū)域的硬度分布。
表1 TZM基鎢錸靶各層化學(xué)成分 wt%
Table 1 Chemical composition of each layer of TZM - based & Tungsten-rhenium target wt%
| 名稱 |
Ti |
Zr |
Mo |
Re |
W |
| TZM層 |
0.4~0.55 |
0.06~0.12 |
余量 |
0 |
-- |
| 鎢錸層 |
-- |
-- |
-- |
3 |
余量 |
3.1 SEM-EDX結(jié)果和成因分析
取靶材表面含有白斑缺陷的試樣，經(jīng)磨拋后進(jìn)行微觀能譜分析，如圖1所示，圖1（b）和（c）分別為白斑區(qū)域的放大圖，并對(duì)其中紅色框進(jìn)行能譜分析結(jié)果如表2。由圖1和表2可知，微觀視野下白斑缺陷表現(xiàn)為凹坑且為兩種結(jié)構(gòu)。其中圖1（b）白斑缺陷為細(xì)小的點(diǎn)狀?yuàn)A雜物聚集而成，凹坑中Mo含量較高，達(dá)到88.51wt%，分析原因?yàn)榉哿线M(jìn)行壓制的過(guò)程中鎢錸層被鉬粉污染，該白斑缺陷后續(xù)加工保證工作臺(tái)面整潔度，可以避免；圖1（c）的白斑缺陷為不含夾雜物的晶粒脫落現(xiàn)象。
圖1 靶材工作表面的白斑缺陷圖
（b）和（c）分別為（a）圖中白斑局部放大圖
Fig. 2 White Spot Defect Map of Target Working Surface
( b ) and ( c ) are respectively enlarged partial views of the white spot in fig. ( a ),
表2靶材表面白斑處能譜分析
Table 2 Energy spectrum analysis of white spots on the surface of target material
| 樣品 |
元素 |
質(zhì)量 百分比 |
原子百分比 |
| （b） |
O K |
3.05 |
16.30 |
| W M |
8.09 |
3.77 |
| P K |
0.35 |
0.97 |
| Mo L |
88.51 |
78.96 |
| （c） |
O K |
2.94 |
15.41 |
| W M |
95.32 |
84.46 |
| P K |
0.31 |
0.93 |
| Mo L |
0.43 |
0.20 |
TZM基鎢錸靶的工作表面界面處的金相照片如圖2所示，其中圖2（a）、（b）分別為無(wú)白斑區(qū)域和白斑區(qū)域的金相圖。由圖2可知，無(wú)白斑區(qū)域的晶粒均勻且較小，而白斑區(qū)域致密度明顯低于其它區(qū)域，并且晶粒較為粗大。從熱力學(xué)角度分析，在一定體積的金屬中，晶粒愈粗，則其總的晶界表面積就愈小，晶粒粗化使合金該區(qū)域處于自由能較低的穩(wěn)定狀態(tài)。白斑周圍晶粒粗大的是由于該區(qū)域致密度偏低，燒結(jié)和熱壓等工序使該區(qū)變形量小，形核數(shù)目少，新晶核靠消耗其周圍已變形晶胞長(zhǎng)大。晶粒脫落是因?yàn)榇志еg結(jié)合能較小，結(jié)合力弱，磨削等工序易使晶粒脫落。
圖2 靶材工作表面的的界面金相照片
（a） 無(wú)白斑區(qū)域， （b）白斑區(qū)域
Fig. 3 Interface metallographic photograph of target working surface
（a）Areas without white spots，（b）White spot area
將靶材工作表面含有白斑缺陷的樣品進(jìn)行顯微硬度測(cè)試，結(jié)果如表3和圖3。編號(hào)1-3為白斑缺陷周圍的硬度測(cè)試點(diǎn)，編號(hào)4-7為沿白斑缺陷向外延伸的硬度測(cè)試點(diǎn)。根據(jù)顯微硬度測(cè)試結(jié)果可知，白斑缺陷周圍的硬度值偏低，隨著測(cè)試點(diǎn)向外延伸，其硬度增加，最終硬度相對(duì)穩(wěn)定，說(shuō)明該區(qū)域致密度均勻。硬度值是由晶粒度決定的，晶粒越細(xì)，晶界面越多，晶界越曲折；晶粒與晶粒中間犬牙交錯(cuò)的機(jī)會(huì)就越多，越不利于裂紋的傳播和發(fā)展，彼此就越緊固，強(qiáng)度和韌性就越好，硬度也就越高。
表3靶材表面不同位置的硬度值
Table 3 Hardness values at different positions on the target surface
| 樣品編號(hào) |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
| 硬度值 |
279 |
288 |
290 |
317 |
337 |
339 |
340 |
圖3 靶材表面不同位置的硬度曲線圖
Fig. 4 Hardness curves of different positions on the target surface
影響其硬度的性能的主要因素有合金致密度和晶粒尺寸，它們之間的關(guān)系為：
其中： 為合金的硬度， 為晶粒尺寸， 為孔隙率； , , 為常數(shù)。可知?dú)饪茁屎途Я３叽绲脑黾佣紩?huì)降低合金材料的硬度[9-10]。
綜上所述，致密度能夠影響合金材料的硬度和耐磨性等特性，因此，提高靶材致密度和均勻性是降低靶材白斑缺陷的重要手段。
本課題通過(guò)探究TZM基鎢錸靶材工作表面的白斑缺陷，并采用金相顯微鏡、掃描電鏡和顯微硬度分析，得出以下幾點(diǎn)結(jié)論：
（1）TZM基鎢錸靶材產(chǎn)生的白斑缺陷為凹坑，表現(xiàn)為含夾雜物的凹坑和未含夾雜物的晶粒脫落現(xiàn)象。
（2）白斑缺陷處的晶粒粗大、硬度較低，無(wú)白斑處晶粒度均勻且硬度值穩(wěn)定。白斑缺陷產(chǎn)生的主要原因?yàn)樵搮^(qū)域硬度較低和晶粒粗大。
（3）經(jīng)過(guò)工藝改進(jìn)和生產(chǎn)實(shí)踐證明，提高靶材致密度和均勻性是降低靶材白斑缺陷的重要手段。其重復(fù)性和可靠性提高，有效的解決了靶材生產(chǎn)中的白斑缺陷問(wèn)題。
參考文獻(xiàn)
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